[实用新型]镀膜设备有效
| 申请号： | 202020231862.6 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN212175029U | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 易伟华;张迅;郑芳平;徐彬彬;洪华俊 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 朱志达 |
| 地址： | 338004 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜设备。上述镀膜设备用于给基板镀膜，镀膜设备包括第一中频镀膜室和伸缩件，第一中频镀膜室包括第一中频靶底板和第一靶材，第一中频靶底板设有两个，两个第一中频靶底板错开设置且存在间隔，每一第一中频靶底板设有第一靶材，基板能够从间隔穿过，伸缩件连接于第一中频靶底板，且能够带动第一靶材靠近或者远离基板，进而给基板镀膜。上述镀膜设备，错开的两个第一靶材可以同时对基板进行镀膜，有效的提高了镀膜的镀膜效率，同时第一中频靶底板上的伸缩件可以带动第一靶材靠近或者远离基板，使基板的镀膜操作过程更加灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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