[实用新型]一种提高排气效率的排气装置有效
| 申请号： | 202020221204.9 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN211650996U | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 邓信甫;庄海云;王雪松;陈佳炜;徐铭 | 申请（专利权）人： | 至微半导体（上海）有限公司;江苏启微半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/14;F26B21/04 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 蔡岩岩 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高排气效率的排气装置，包括：槽体、设置于所述槽体上方对开设置的挡门、固定于所述挡门上的喷气机构以及与所述槽体连通的抽气机构；所述喷气机构包括第一喷气组件及与所述第一喷气组件对称设置的第二喷气组件，所述抽气机构包括连通于所述槽体一侧的第一抽气组件及与所述第一抽气组件对称设置于所述槽体另一侧的第二抽气组件。根据本实用新型，结构简单实用，喷气机构能够将氮气全面覆盖于晶圆的表面，抽气机构能够将氮气抽离于干燥槽内，喷气机构与抽气机构相结合使得干燥槽内氮气形成一循环气流，大大提高了干燥槽的干燥效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 排气 效率 排气装置 | ||
【主权项】：
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