[发明专利]一种钼钠合金板状靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202011637456.0 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112813397B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王娜;朱琦;席莎;安耿;武洲;吴吉娜;张晓;周莎;张俊利 | 申请（专利权）人： | 金堆城钼业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C27/04;C22C1/04;B22F3/105;B22F3/04 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 王敏强 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钼钠合金板状靶材的制备方法，包括：先将钼酸钠和粘结剂用去离子水溶解混合均匀后，再加入钼粉，并经喷雾造粒后得到钼钠合金粉末，最后对钼钠合金粉末进行脱碳处理；对步骤1得到的钼钠合金粉末进行低压预压制，得到初始压坯；将初始压坯置于石墨模具中，然后将石墨模具置于SPS烧结炉中加压，并进行抽真空；最后对SPS烧结炉进行增加电流升温烧结、卸压、冷却，得到钼钠合金坯料；将钼钠合金坯料进行机加工、打磨抛光得到钼钠合金板状靶材成品。通过SPS技术实现了升温/降温速率快、烧结时间短、节能环保，工艺简单，成本低，实现了钼钠合金板状靶材的短生产周期制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 板状靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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