[发明专利]一种自动化的真空蒸镀方法在审
| 申请号： | 202011623227.3 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112831756A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/30 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 曹恒涛 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提出一种自动化的真空蒸镀方法，采用真空蒸镀机全自动化进行真空蒸镀，包括步骤：S1，采用粗抽泵对真空蒸镀机的腔室内进行抽真空；S2，关闭粗抽泵，采用精抽泵继续抽真空；S3，在S2抽真空的同时，真空蒸镀机的腔室内的加热灯开始预加热，去除工件产品表面的水分；S4，在步骤S3加热灯开始加热的同时，对坩埚内的蒸发镀膜材料进行预加热，使颗粒状的蒸发镀膜材料熔融成一体状；S5，开启离子源装置，对工件产品表面进行物理方式的轰击；S6，对坩埚内的熔融成一体状的蒸发镀膜材料，利用电子束或者热阻蒸发的原理，使蒸发镀膜材料从固态变成液态再到气态，使蒸发镀膜材料气体分子到达工件表面，凝固结核后在工件表面形成镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 真空 方法 | ||
【主权项】：
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