[发明专利]一种防指纹镀膜方法、防指纹镀膜结构及显示装置

摘要

本发明涉及镀膜技术领域，公开了一种防指纹镀膜方法、防指纹镀膜结构及显示装置。该防指纹镀膜方法包括步骤：将基板放置在真空镀膜室，对真空镀膜室进行抽低真空；对基板进行等离子清洗，对真空镀膜室进行抽高真空；用等离子方式在基板上制备无机硅膜层，对真空镀膜室进行抽高真空；蒸发防指纹药丸，在无机硅膜层上形成防指纹层。通过等离子方式加入气态硅油，形成二氧化硅，后蒸发防指纹药丸，硅的成膜速率快，结构简单，产品生产面积大，生产效率高。本发明中，通过等离子方式加入气态硅油，通过化学沉积形成无机硅膜层，后蒸发防指纹药丸，无机硅膜层的成膜速率快，产品生产面积大，生产效率高。