[发明专利]一种具有POI结构的兰姆波谐振器在审
| 申请号： | 202011508678.2 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112702037A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;许欣;柯亚兵 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 蔡悦 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有POI结构的兰姆波谐振器。兰姆波谐振器可包括：高声速材料衬底；以及位于所述高声速材料衬底上方的压电层，所述压电层的上表面和下表面上分别设置有第一和第二叉指换能器，其中所述第一和第二叉指换能器的叉指电极隔着所述压电层在层叠方向上彼此相对，且具有相同的电极宽度、电极厚度、电极间距以及激发声波波长λ，所述叉指电极均埋入所述压电层，其中所述压电层的材料为切角为θ的YX‑LiNbO3，其中30°≤θ≤60°，并且所述压电层的厚度t为0.3λ－0.6λ。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 poi 结构 兰姆波 谐振器 | ||
【主权项】：
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