[发明专利]调节超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的系统及方法在审
| 申请号： | 202011486926.8 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112653413A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;谢英;王雅馨;童欣;谷曦宇;龙开祥;温志伟 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 彭艳君 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及超高频体声波谐振器有效机电耦合系数调节技术，具体涉及调节超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的系统及方法。该系统包括正、负电极、压电层、空腔及衬底，正电极、负电极依次交替排列，且均置于压电层之上，压电层置于衬底之上；正、负电极之间设置至少一根悬浮电极。在正负电极中添加极性相反的电压，正负电极间会激发横向电场，在横向电场的作用下悬浮电极的表面会产生感应电荷，悬浮电极与正负电极间形成新的电场，削弱了原横向电场的强度，从而减小压电层中的压电效应，最终改变谐振器的有效机电耦合系数。通过调节悬浮电极的厚度、宽度、数量或者材料属性可以实现对谐振器的机电耦合系数的调节，使其应用于窄带滤波器成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 超高频 声波 谐振器 有效 机电 耦合 系数 系统 方法 | ||
【主权项】：
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