[发明专利]一种多孔氮化镓基室温气体传感器的制备方法在审
| 申请号： | 202011394318.4 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112525954A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 潘毅;陈熙;沙法·穆罕默德;柯柯 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种多孔氮化镓基室温气体传感器的制备方法，该传感器所用氮化镓薄膜可通过金属有机物化学气相沉积和氢化物气相外延法生长于蓝宝石衬底上，表面经金属催化化学腐蚀法获得孔径可调的纳米微孔，随后经1,2‑乙二硫醇(EDT)钝化处理后，利用物理沉积法在表面负载高分散铂(Pt)纳米颗粒。经该方法处理的材料具有比表面积大、活性中心稳定、传质通道多，而且成本较低，易于批量制备等优点。该基于以铂纳米粒子修饰的硫化物钝化多孔GaN材料半导体传感器，可以在室温温区同时检测H |
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| 搜索关键词： | 一种 多孔 氮化 室温 气体 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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