[发明专利]鳍部高度的监控结构与鳍部高度的监控方法有效
| 申请号： | 202011390869.3 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN113035843B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 纪婉韵;靳怡君 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 宋兴;刘芳 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种鳍部高度的监控结构与鳍部高度的监控方法。鳍部高度的监控结构包括基底、多个隔离结构、第一字线与第二字线。基底包括第一区与第二区。隔离结构位于第一区的基底中，而定义出至少一个有源区。有源区中的基底具有高于隔离结构的鳍部。第一字线位于第一区的隔离结构与鳍部上。第二字线位于第二区的基底上。上述鳍部高度的监控结构可有效地且即时地监控鳍部高度。 | ||
| 搜索关键词： | 高度 监控 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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