[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置在审
| 申请号： | 202011300069.8 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112501551A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 蓝秋亮 | 申请（专利权）人： | 匠博先进材料科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/00 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 510000 广东省广州市黄埔区香山路9*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀掩模，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：第一面侧、第二面侧及贯通孔，其特征在于，所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第二面侧包括若干个第二凹部和若干个第二支撑部，所述第二凹部包括第二开口及第二刻蚀面，相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部，所述凸起部沿背离所述第一面侧的方向凸起；所述第二支撑部包括多个边部和多个尖部，所述尖部位于相邻的两边部之间，所述边部向内凹陷，所述尖部指向所述凸起部并与所述凸起部相连，以提高蒸镀掩模与蒸镀基板配合的密着性，减轻张网时的褶皱，同时减轻蒸镀时的阴影，提高蒸镀精度。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 蒸镀掩 模组 装置 显示装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于匠博先进材料科技（广州）有限公司，未经匠博先进材料科技（广州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011300069.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种本安防爆信号输出接口
- 下一篇：一种生命波碳纳米点治疗动物肿瘤方法
- 同类专利
- 专利分类
