[发明专利]一种延长环件寿命的处理方法有效
申请号: | 202011256336.6 | 申请日: | 2020-11-11 |
公开(公告)号: | CN112522502B | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C21D9/40 | 分类号: | C21D9/40;C22F1/04;C23C14/34;B23P9/02 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种延长环件寿命的处理方法,所述处理方法包括:对环件依次进行固溶、时效和滚花处理;所述滚花处理包括对环件的外圆周面、圆环形外端面以及外圆周面与圆环形外端面的圆角连接处进行滚花处理;本发明通过将固溶、时效和滚花处理结合起来,利用三者之间的促进作用,提升了环件的力学性能,解决了溅射蚀刻中的溅射异常问题,延长了环件的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 延长 寿命 处理 方法 | ||
【主权项】:
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