[发明专利]一种6N旋转靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202011254987.1 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112323027A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 郑巧;郑好;郑好巧妙 | 申请（专利权）人： | 四川华芯腾科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C23G1/10;C22C1/02;B23P15/00 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 637000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种6N旋转靶材及其制备方法，制备方法包括以下步骤：将6N铜原料表面打磨后采用混合溶液酸洗10‑20min，然后依次用清水和酒精冲洗，烘干，得预处理铜原料；将预处理铜原料在400‑600℃温度下预热1‑3h，然后在1100‑1200℃温度下熔炼，熔化完全后再升温20‑100℃过热保温10‑20min，浇筑，冷却，得铜棒；将铜棒在模具固定下钻机扩孔4‑6次，得6N旋转靶材。本发明还包括采用上述方法制得的6N旋转靶材。本发明的制备方法简单易操作，能够制得杂质含量较少的6N旋转靶材，有效解决了现有技术中易产生机械应力及杂质、晶粒间隙较大和生产成本高等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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