[发明专利]一种半导体晶圆储存环境智能控制设备在审
| 申请号： | 202011246956.1 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112346502A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 程标;翁加林 | 申请（专利权）人： | 南京寅禾信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D27/02 | 分类号： | G05D27/02 |
| 代理公司： | 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 | 代理人： | 杨艳平 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体晶圆储存环境智能控制设备，包括服务端、操作端、晶圆柜体以及安装在晶圆柜体表面的控制设备，服务端通过互联网与操作端相连接，服务端通过线缆与控制设备相连接，控制设备包括壳体、设备主板、仪表盘、电磁阀、流量计、报警蜂鸣器和电源，电磁阀的输入端连接有氮气源，电磁阀的输出端与晶圆柜体相连通，电磁阀与晶圆柜体之间串联有流量计，控制设备还设有配合数据监测的温湿度传感器、氧含量传感器和接近开关传感器。本发明通过在晶圆柜体的表面设有控制设备，方便自动对晶圆柜体内的各项数据进行检测，解决了过去晶圆柜持续充入氮气的浪费问题，在非人为因素下，可100％保证晶圆环境安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 储存 环境 智能 控制 设备 | ||
【主权项】：
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