[发明专利]一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置及方法在审
| 申请号： | 202011215368.1 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112345797A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 刘珉强;杜川华;肖龙远;李晨;朱小锋;乔伟;许蔚;熊涔;陈泉佑;段丙皇;许献国;赵洪超 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 张超 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS加速度计敏感结构辐射效应在线测试装置及方法，包括测试电脑、电压信号检测装置、直流电源、PCB板、屏蔽体和辐射源，其中，PCB板上设置有MEMS加速度计，MEMS加速度计包括检测电路和敏感结构，通过检测电路对敏感结构进行检测，并经电压信号检测装置发送给测试电脑，以确定MEMS加速度计是否受辐射影响以及影响程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 加速度计 敏感 结构 辐射 效应 在线 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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