[发明专利]一种单晶晶片及其晶棒的制备方法在审
| 申请号： | 202011214927.7 | 申请日： | 2020-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN112160021A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 尹士平;郭晨光;黄雪丽 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/20;C30B15/36;C30B29/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种单晶晶片及其晶棒的制备方法，属于晶体生长技术领域。本发明对传统直拉法进行改进，增加空拉过程，并降低冷却速度，延长冷却时间，所得单晶晶棒制得的直径4寸以上的单晶晶片表面的亮点、波浪纹等缺陷得到有效减少，达到低LPD标准的合格率显著上升，提升了晶棒利用率，能满足市场需求，增加企业利润。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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