[发明专利]一种化学气相沉积管式炉实验装置

摘要

本发明涉及化学气相沉积加工装置技术领域，且公开了一种化学气相沉积管式炉实验装置，包括支撑架，所述支撑架的上部固定连接有侧挡板，所述侧挡板内侧的下部安装有实验管式炉本体。该化学气相沉积管式炉实验装置，通过在物块放置板上部的中部安装有对个限位板，且限位板的上部为尖锐状，使得方便降低限位板与物块底部之间的接触面，同时增加装置使用时，方便与气体进行流通的作用，同时转动侧挡板一侧的螺纹杆，使得可带动侧挡板前后移动，使得方便带动侧挡板对物块进行夹持固定的作用，同时装置内部推动夹持板的下部安装有支撑杆，其中支撑杆活动套接在滑槽的内部，使得起到对装置侧挡板移动的位置进行限定。