[发明专利]烧结座、芯体结构、基座组件以及压差传感器在审

专利信息
申请号: 202011114035.X 申请日: 2020-10-18
公开(公告)号: CN112129453A 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 王小平;曹万;王红明;王晓燕;梁世豪;张超军;李凡亮 申请(专利权)人: 武汉飞恩微电子有限公司
主分类号: G01L13/02 分类号: G01L13/02;G01L19/06;G01L19/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 430000 湖北省武汉市东湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种烧结座、芯体结构、基座组件以及压差传感器,该用于压差传感器的烧结座包括壳体以及检测结构,壳体沿第一方向间隔设有开口朝向第二方向的第一腔室和第二腔室,所述第二腔室具有背离所述第二方向的顶壁,所述顶壁贯设有压力孔,所述壳体内设有用于流通流体介质的第一通路,所述第一腔室和第二腔室用于分别安装朝向第二方向设置的第一感振元件和第二感振元件。本发明旨在解决感振元件较小时,感振元件的热影响区离感应区较近,降低了感振元件的性能,会导致芯片感测到的经感振元件传递后的压力与实际压力存在偏差。
搜索关键词: 烧结 结构 基座 组件 以及 传感器
【主权项】:
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  • 托马斯·尤林;弗洛里安·古特曼;亚历山大·贝克;伊戈尔·格特曼;本雅明·马克;米夏埃尔·诺亚克;米夏埃尔·休格尔 - 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司
  • 2020-12-16 - 2022-10-04 - G01L13/02
  • 本发明涉及一种用于确定两个压力(p1、p2)的差压的差压测量传感器(1),其具有测量机构(2)和转换器腔室(3),其中,在转换器腔室(3)中布置有具有压敏元件(13)的压差测量单元(12),其中,在测量机构中在朝向过程的端部区域处设置有具有两个双膜片(4a、4b)的共面的双膜片系统,其中,两个双膜片(4a、4b)分别由分隔膜片(5a、5b)和在压力作用的方向上布置在分隔膜片(5a、5b)后面的过载膜片(6a、6b)构成,其中,在第一分隔膜片(5a)与第一过载膜片(6a)之间构造有第一压力腔室(7a),并且在第一过载膜片(6a)与测量机构(2)的基体(9)之间构造有第一附加压力腔室(8a),其中,在第二分隔膜片(5b)与第二过载膜片(6b)之间构造有第二压力腔室(7b)并且在第二过载膜片(6b)与测量机构(2)的基体(9)之间构造有第二附加压力腔室(8b),其中,给两个压力腔室(7a、7b)中的每一个压力腔室均配属有毛细管连接部(10、11),并且其中,给两个附加压力腔室(8a、8b)中的每一个附加压力腔室均配属有至少一个毛细管连接部(10、11),其中,毛细管连接部(10、11)设计和连接/耦联成使得在正常测量运行中,施加到分隔膜片(5a、5b)上的压力(p1、p2)以液力方式传递到压敏元件(13),并且在过压的情况下,过压借助液力液体(16)从高压侧(4b)以液力方式传递到低压侧(4a),从而使过压膜片(6a)和分隔膜片(5a)发生偏移,并且在过压到达压敏元件(13)之前使从高压侧(4b)移来的液力液体(16)被接收在低压侧(4a)上的附加压力腔室(8a)中,其中,测量机构(2)的基体一件式地设计,并且至少除了毛细管连接部(10、11)的连接部/耦联部之外具有基本上完全对称的结构。
  • 一种三向取压连接法兰-202123125075.7
  • 杨劲松;刘庆;王小文;朱健;何炳伟;金亮 - 重庆市伟岸测器制造股份有限公司
  • 2021-12-13 - 2022-10-04 - G01L13/02
  • 本实用新型公开了一种三向取压连接法兰,包括块状的取压座,该取压座设有安装面,在该安装面上开设有取压孔,该取压孔为盲孔;取压座上开设有三个取压通道,三个取压通道绕取压孔环向分布,三个取压通道内端均与取压孔连通,三个取压通道的外端分别开口于取压座的三个不同表面上;在取压座上对应每个取压通道的外端分别设置有取压法兰,取压通道的外端分别从相应的取压法兰穿出。本实用新型的有益效果:取压座上三向取压连接法兰的结构设计,能够更好地适应现场场景下对流体压力的测量要求,便于流量计在进行测量时灵活选择取压通道与外部压力源连接。
  • 一种可调节式压差计-202122347246.4
  • 张雷;庞浩;罗智晟 - 沪东重机有限公司
  • 2021-09-27 - 2022-08-12 - G01L13/02
  • 本实用新型公开了一种可调节式压差计,涉及工业制造用压差计技术领域,具体为一种可调节式压差计,包括安装座,所述安装座的顶部固定安装有中置限位岛,且中置限位岛的外部卡接有U型压差计,所述中置限位岛的顶部螺纹连接有两个限位旋钮,所述中置限位岛的顶部通过限位旋钮卡接有标尺。该可调节式压差计,通过旋动调节齿轮,并通过辅助调节齿条转动,可带动标尺在U型压差计内部移动,可根据现场的实际情况调节标尺与U型压差计的相对位置,准确定位U型压差计中水零位位置,进而增加了U型压差计的可调节性,便于读数,提高了检测的精度,同时在标尺移动时,通过两个限位旋钮对标尺进行限制,提高了标尺移动时的稳定性。
  • 一种高过载单晶硅差压传感器-202210392429.4
  • 王峥;周文海;王玲 - 苏州森斯缔夫传感科技有限公司
  • 2022-04-15 - 2022-07-22 - G01L13/02
  • 本发明公开了一种高过载单晶硅差压传感器,涉及差压传感器技术领域,解决了现有差压传感器过载防护时易造成惰性油的渗漏的问题,包括低压基座、高压基座、套筒壳、芯片基座和单晶硅芯片,还包括过载防护模块和泄压组件,高压基座内开有安装槽,且过载防护模块安装于安装槽内,且高压油路和低压油路内均开有连接油路,高压基座和低压基座内均开有泄压槽,本发明通过设计的过载防护模块内的防护框和防护板的相互配合,实现过载时能够对油路内惰性油进行一个吸收,能够有效的避免对芯片造成损坏,同时防护板外侧不会与惰性有直接接触,能够避免对惰性油的粘黏吸附,使得油路压力检测更加灵敏。
  • 一种膜片固定结构及双膜片式差压表-202220933410.1
  • 韩书华;俞磊;高冀东 - 北京布莱迪仪器仪表有限公司
  • 2022-04-20 - 2022-07-19 - G01L13/02
  • 本实用新型公开了一种膜片固定结构及双膜片式差压表,包括膜片主体和膜片连接体,膜片连接体固定于膜片主体的边沿,膜片连接体被密封夹紧于差压表的主体部与侧夹板之间。上述膜片固定结构,由于膜片主体固定于膜片连接体,而主体部与侧夹板夹持的是膜片连接体,因此夹持固定不受膜片主体本身厚度及边缘宽度和膜片直径的限制,只要保证膜片连接体被夹紧即可保证膜片主体的固定的稳定性和可靠性,膜片连接体被夹持固定很容易实现稳定固定,从而使得该膜片固定结构能够适用于低量程的高静压差压表,并且能够保证测量精度。
  • 包括参考压力供应部的相对压力传感器-202080083514.1
  • 米夏埃尔·休格尔;尼尔斯·波纳特;阿明·鲁普;弗兰克·伏尔兹 - 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司
  • 2020-11-20 - 2022-07-15 - G01L13/02
  • 本发明涉及一种相对压力传感器(1),该相对压力传感器(1)用于确定介质(2)相对于大气压力(p2)的压力(p1),该传感器包括:壳体(3),该壳体具有测量元件(4),该测量元件(4)位于所述壳体(3)中,其中待测量的所述压力(p1)作用在所述测量元件(4)的外表面上,所述表面与所述介质(2)接触;参考压力供应部(5),该参考压力供应部(5)为所述测量元件(4)的内表面供应呈环境空气形式的大气压力(p2);评估单元(6),该评估单元(6)根据使用所述测量元件(4)确定的变量来确定所述介质(2)的所述压力(p1);以及至少一个干燥室(7),该至少一个干燥室(7)位于所述壳体(3)中,用于从通过所述参考压力供应部(5)供应的所述环境空气中接收大气湿气。设置了套管(9),该套管(9)能够压入到所述壳体(3)中并且具有毛细管型且至少部分呈螺旋形的凹槽(11),该凹槽(11)围绕所述套管(9)延伸。
  • 包括干燥室的相对压力传感器-202080083555.0
  • 米夏埃尔·休格尔;弗兰克·伏尔兹;尼尔斯·波纳特;阿明·鲁普 - 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司
  • 2020-11-20 - 2022-07-15 - G01L13/02
  • 本发明涉及一种相对压力传感器(1),该相对压力传感器用于确定介质(2)相对于大气压力(p2)的压力(p1),该传感器包括:壳体(3),该壳体(3)具有位于该壳体(3)中的测量元件(4),其中待测量的所述压力(p1)作用在所述测量元件(4)的外表面上,所述表面与所述介质(2)接触;参考压力供应部(5),该参考压力供应部(5)为所述测量元件(4)的内表面提供环境空气形式的大气压力(p2);评估单元(6),该评估单元(6)根据使用所述测量元件(4)确定的变量来确定所述介质(2)的所述压力(p1),并且包括从经由所述参考压力供应部(5)供应的环境空气吸取大气湿气。干燥室(7)具有干燥模块(8),该干燥模块(8)包括容器(9)和完全被该容器(9)包围的吸湿材料(10)。
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