[发明专利]一种MEMS麦克风及其制造方法在审
| 申请号： | 202011057345.2 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112087697A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 周浩;邱山峰;陈侠然;邵雷;王晓锋;孔志浩 | 申请（专利权）人： | 华天慧创科技(西安)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 马贵香 |
| 地址： | 710018 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS麦克风，包括电路板、MEMS芯片、ASIC芯片、底座和封装盖；底座上设置有通孔，通孔分为大孔端和小孔端，大孔端的开口面积大于小孔端的开口面积；MEMS芯片的底部硅基为空腔结构；硅基固定设置在底座上小孔端的一侧，空腔与底座上的小孔端相对应形成后腔；底座固定设置在电路板上；ASIC芯片固定设置在电路板上，MEMS芯片与ASIC芯片进行电连接，ASIC芯片与电路板电连接，封装盖固定设置在电路板上，包裹住MEMS芯片与ASIC芯片形成前腔，封装盖上开设有声孔。通过将硅基上的空腔与通孔相连通，增加了后腔体积，减少了前腔和后腔的体积差距，提高了麦克风的信噪比，使得声学性能得到了极大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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