[发明专利]PVD镀膜的方法及PVD镀膜装置在审
| 申请号： | 202011050399.6 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112281132A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 陈坚毅;尹万锋;薛涛 | 申请（专利权）人： | 维达力实业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李睿 |
| 地址： | 518129 广东省深圳市龙岗区坂田街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种PVD镀膜的方法和PVD镀膜装置，所述方法采用控制镀膜过程中镀膜工件的转动圈数的方式控制镀膜时间。该方法采用控制镀膜过程中镀膜工件的转动圈数的方式控制镀膜时间，能够有效保证在沉积开启时间内镀膜工件经过沉积源有效区的时间相同，从而提高膜层在转架圆周方向上的膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 镀膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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