[发明专利]一种激光直写成像修正方法、装置、设备及存储介质有效
| 申请号： | 202011045521.0 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112286009B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种激光直写成像修正方法，包括：获取标定板上每个可识别图形的第一纵坐标；采用激光直写成像LDI设备将可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于基板上各可识别图形的第二纵坐标；计算第一纵坐标与第二纵坐标之间的差值，并判断差值是否小于设定阈值；若否，则根据差值调整图形曝光触发信号的物理长度；基于物理长度返回执行采用激光直写成像设备将可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于基板上各可识别图形的第二纵坐标的操作，直到差值小于设定阈值；将调整后的物理长度确定为激光直写成像设备的工作参数。本发明实施例提供的激光直写成像修正方法可以达到减少人力成本与设备成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 成像 修正 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏迪盛智能科技有限公司，未经江苏迪盛智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011045521.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种炼钢钢包热修工位布置方法
- 下一篇：矸石卸载轨道专用架子头
