[发明专利]检测器件及其制造方法、微电子元件的检测方法在审
| 申请号： | 202011044273.8 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112180228A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 张立震 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28;G01J1/44;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种检测器件及其制造方法、微电子元件的检测方法，该检测器件包括：衬底；呈阵列分布的多个微检测单元，微检测单元包括：偏转电极和至少一个寻址电极，偏转电极包括相对的两端，相对的两端能够在寻址电极和偏转电极所形成的电场力驱动下，绕一铰接支点摆动，以使检测端向靠近或远离衬底的方向偏转；向寻址电极上输送第一驱动信号的第一信号线；向偏转电极上输送第二驱动信号的第二信号线，第一驱动信号和第二驱动信号用于使寻址电极与偏转电极之间形成电场力；驱动电路结构层，形成于衬底上，并与第一信号线和第二信号线均电连接。本公开提供的检测器件及其制造方法、微电子元件的检测方法，能够批量检测微电子元件，提升良率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 器件 及其 制造 方法 微电子 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011044273.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
