[发明专利]确定晶片掰片位置的方法有效

专利信息
申请号: 202011025214.6 申请日: 2020-09-25
公开(公告)号: CN112103233B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 吴春龙;马金峰;唐勇 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L23/544
代理公司: 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 代理人: 张向琨
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本公开提供了一种确定晶片掰片位置的方法,包括以下步骤:S1,设置第一晶片和模板,并在第一晶片上设置定位边,在模板上分别设置定位边和定位孔;S2,设置标示图;S3,将第一晶片放在标示图上,并在标示图做出用于后续待掰制晶片定位的定位标记;S4,将待掰制晶片待放在标示图上,利用步骤S3中的定位标记对待掰制晶片进行定位,并在待掰制晶片标示定位点;S5,将模板放在待掰制晶片上,使待掰制晶片的定位点与模板的定位孔重合,进而得到晶片掰片位置。本公开确定晶片掰片位置的方法的操作简单,且能精确地确定每片晶片的掰片位置,提高晶片产品质量。
搜索关键词: 确定 晶片 位置 方法
【主权项】:
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