[发明专利]一种真空蒸镀方法在审
| 申请号： | 202011024093.3 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112359322A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 李同裕 | 申请（专利权）人： | 扬州吉山津田光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 王美章 |
| 地址： | 225803 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空蒸镀方法，属于真空蒸镀领域。它包括：一、提供蒸镀腔室；二、提供若干蒸镀台，将蒸镀台设置于蒸镀腔室内底部，每个蒸镀台的顶部设置不同的蒸发源，设置不同蒸发源的蒸镀材料不同；三、提供若干基板，将基板设置在蒸镀腔室内顶部，其中一个基板水平设置，其余基板倾斜设置且环绕于水平设置的基板周围。本发明通过环绕式设置多个基板，配合多个蒸镀台，能对基板进行不同材料的同时蒸镀，且蒸镀台的蒸发源散发处的材料分子可更大面积的被基板朝向蒸镀台的待镀面接收，从而降低了对材料的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 方法 | ||
【主权项】：
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