[发明专利]一种组合排气管和单晶炉在审
| 申请号： | 202011015334.8 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112144105A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 车贤湖;杨文武 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种组合排气管和单晶炉，所述组合排气管设置于单晶炉底部，包括：内筒、外筒和夹设于所述内筒和所述外筒之间的隔热材料层，所述内筒的内部形成有排气通道，所述组合排气管的一端与所述单晶炉的内腔连通，所述组合排气管的另一端贯穿所述单晶炉的底部。根据本发明实施例的组合排气管，通过设计成分体式结构，中间填充隔热材料，可以阻止单晶炉内的热量经由排气管向外散失，在保证单晶炉底部温度恒定的前提下，减少尾气在排气管的遇冷沉积，避免了排气不顺畅导致的尾气倒流，确保了晶体的稳定生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合 排气管 单晶炉 | ||
【主权项】：
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