[发明专利]MEMS麦克风及其制备方法有效
| 申请号： | 202011005047.9 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN111935620B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 王青松 | 申请（专利权）人： | 瑶芯微电子科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种MEMS麦克风及其制备方法。麦克风包括衬底、振膜、背极、背板及引出电极；衬底内设置有第一空腔，振膜通过支架固定于衬底上，振膜的下表面设置有第一阻挡块及保护侧墙，背极位于振膜的上方，背极上设置有多个间隔分布的第一声孔，第一声孔贯穿背极且对应位于第二空腔的上方；背板位于背极上，背板上设置有多个间隔分布的第二声孔、第二阻挡块及支撑结构；第二声孔贯穿背板，第二阻挡块设置于背板的下表面，且穿过背极直至凸出于背极的下表面；支撑结构位于振膜的上表面；引出电极分别与振膜及背极相连接。本发明可以避免背板因局部应力集中而产生裂纹损坏等问题，可以有效提高背板的机械强度，确保MEMS麦克风的机械及电声性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑶芯微电子科技（上海）有限公司，未经瑶芯微电子科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011005047.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
