[发明专利]一种用于石英晶片的表面除污装置

摘要

本发明公开了一种用于石英晶片的表面除污装置，包括除污机和晶片盒，除污机的内腔安装有晶片盒，在主机的上端安装有升降装置，当石英晶片需要进行表面除污时，石英晶片让入晶片槽，晶片盒让入除污池，在驱动电机的转动下带动转动轴，转动轴带动转杆，转杆转动使转动套做径向往复运动，而晶片盒在升降装置的径向运动下，加快晶片盒内部石英晶片表面污物的清理，主盒的两侧安装有连接杆，连接杆的侧面上端安装有安装套，当主盒放入除污池内腔时，安装套可直接套在升降装置的上端，并从紧固孔插入固定杆，而限位珠能够卡住固定杆，这种固定方式快捷且便利。