[发明专利]高频电源装置以及高频功率的输出方法在审
| 申请号： | 202010964417.5 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112564694A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 深野胜之;中森雄哉;板谷耕司;滨石悟 | 申请（专利权）人： | 株式会社达谊恒 |
| 主分类号： | H03L5/02 | 分类号： | H03L5/02;H03L7/00;H03K7/08;H05H1/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本国大阪府大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供高频电源装置以及高频功率的输出方法。提供能缓和高频功率的急变的高频电源装置以及高频功率的输出方法。高频电源装置生成高频信号，周期性地控制生成的高频信号的振幅或相位，输出基于振幅或相位被控制的高频信号从而大小被控制的高频功率。高频电源装置控制高频信号的振幅或相位，使得高频功率的大小在控制周期中的第1期间成为第1水平，在与第1期间不同的控制周期中的第2期间成为比第1水平低的第2水平。高频电源装置使第1期间的长度相对于控制周期的长度的比以及第2水平的至少一方渐减或渐增，并使第1水平渐增或渐减。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 电源 装置 以及 功率 输出 方法 | ||
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