[发明专利]碳基薄膜、碳基薄膜的制备方法、刀具及应用有效
| 申请号： | 202010945906.6 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN111945119B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 林海天;李立升;代伟;王启民 | 申请（专利权）人： | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴梦弦 |
| 地址： | 523835 广东省东莞市大岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种碳基薄膜、碳基薄膜的制备方法、刀具及应用。该碳基薄膜包括层叠设置的第一含碳膜层和第二含碳膜层；第一含碳膜层包括以sp |
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| 搜索关键词： | 薄膜 制备 方法 刀具 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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