[发明专利]极紫外光与等离子体复合原子尺度加工方法有效
| 申请号： | 202010804942.0 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN111994868B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 房丰洲 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种极紫外光与等离子体复合原子尺度加工方法，协同使用极紫外光与等离子体处理材料表面，实现材料表面原子尺度的加工。模式1采用极紫外光代替化学吸附进行表面激活，拓宽了材料的普适性并提高了效率；模式2采用极紫外光代替了等离子体轰击进行材料去除，一方面避免了引入杂质元素的可能，另一方面，由于具有相同状态的大量光子能够共存(玻色子)，就可以实现很低的能量分散度(即高单色性)，提高加工的确定性；模式3在经典等离子体ALE的基础上增加了极紫外增强激发环节，使得单独由离子轰击造成的材料去除转变为由极紫外光场与离子轰击共同决定，能够有效降低入射离子能量及加工表面损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 等离子体 复合 原子 尺度 加工 方法 | ||
【主权项】：
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