[发明专利]TCO薄膜的生产方法及磁控溅射镀膜机在审
| 申请号： | 202010714648.0 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111793785A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 徐琛 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本申请提供TCO薄膜的生产方法及磁控溅射镀膜机，涉及TCO薄膜生产技术领域。TCO薄膜的生产方法包括如下步骤：采用磁控溅射镀膜机，在真空环境下，对衬底的第一表面进行等离子体处理；等离子体处理为：用混合气体进行等离子体处理；混合气体为：惰性气体和氧化气体形成的混合气体、惰性气体和还原气体形成的混合气体两种混合气体中的一种；或，等离子体处理为：依次使用两种混合气体中的一种混合气体和另一种混合气体进行等离子体处理；采用所述磁控溅射镀膜机，在真空环境下，在等离子体处理后的第一表面镀设TCO薄膜。本发明实施例在不降低TCO薄膜的透光性的基础上，从很大程度上提升镀设的TCO薄膜的电导率。 | ||
| 搜索关键词： | tco 薄膜 生产 方法 磁控溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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