[发明专利]会聚离子束装置及会聚离子束装置的控制方法在审
| 申请号： | 202010696775.2 | 申请日： | 2020-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN112687507A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 杉山安彦;广濑菜绪子 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/12;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙明浩;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供会聚离子束装置及会聚离子束装置的控制方法，能够将射束控制到所希望的轨道。会聚离子束装置具备：离子源，其产生离子；第一静电透镜，其使离子加速并将其会聚，形成离子束；射束增强器电极，其使离子束进一步加速；一个或多个电极，它们设置在射束增强器电极内，使离子束静电偏转；第二静电透镜，其配置在一个或多个电极与试样台之间，将被施加了电压的离子束会聚；以及处理部，其取得测定条件，基于取得的测定条件，设定向一个或多个电极施加的各个电压及向静电透镜施加的电压中的至少一个电压。 | ||
| 搜索关键词： | 会聚 离子束 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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