[发明专利]一种抛光液施配器及抛光装置

摘要

本发明提供了一种抛光液施配器及抛光装置，该抛光液施配器用于将抛光液施配到抛光垫上。其包括位于抛光垫上方的支臂、固定在支臂上且用于输送抛光液的输液管。还包括与输液管连通以向抛光垫表面喷洒抛光液的喷头。喷头与支臂转动连接，喷头相对支臂的转动方向与抛光垫的表面垂直。还包括驱动喷头相对支臂转动的驱动装置。通过采用喷头与支臂转动连接，驱动装置驱动喷头相对支臂转动，使喷头喷洒出的抛光液不仅具有直接下落的运行方式，还具有旋转的运动方式，提高抛光液喷洒在抛光垫表面的面积。使抛光液更快速的流入到抛光垫表面的微孔结构或沟槽结构内，减少抛光液被旋转的抛光垫甩出抛光垫的量，保证流入晶圆及抛光垫之间区域的抛光液的量。