[发明专利]一种非球面超高分辨KB显微镜的装调装置和装调方法有效
申请号: | 202010607835.9 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111766713B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 穆宝忠;李文杰;徐捷;徐欣业;王新 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | G02B27/62 | 分类号: | G02B27/62;G02B7/182;G02B5/10;G02B21/04 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 叶敏华 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种非球面超高分辨KB显微镜的装调装置和装调方法,装置包括调整组件及设于调整组件上的反射镜组件,调整组件包括定位杆、光学导轨、光学调整架和两台自准直仪,两台自准直仪安装在光学导轨两端,定位杆设于光学导轨上并可在光学导轨上滑动,光学调整架安装在光学导轨上,反射镜组件包括设于光学调整架上的镜框、顶靠在所述镜框上的两块非球面的反射镜、两块光学锥芯镜框和两个镜框附件,每块反射镜通过一块光学锥芯和一个镜框附件顶靠在镜框上,每块反射镜与其对应的光学锥芯相接触,每块光学锥芯与一台自准直仪对应设置。与现有技术相比,本发明具有提高精度,提高实验效率等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 球面 超高 分辨 kb 显微镜 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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