[发明专利]蒸镀系统及蒸镀方法在审
| 申请号： | 202010590351.8 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111663104A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 马昆松 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀系统及蒸镀方法，通过在真空腔室中，将蒸镀源垂直设置，将多个基板设置在深蒸镀源的两侧，进而可以对两侧的基板进行蒸镀，可以提高生产节拍，降低生产成本，提高产品质量。并且本发明将真空腔室设置成多个子真空腔室，可以进一步的对多块基板进行蒸镀，且通过使用一个蒸镀源进行不同子真空腔室的蒸镀，减小了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 方法 | ||
【主权项】：
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