[发明专利]一种差分的空气动力学设计在气体团簇束流源应用与装置有效
| 申请号： | 202010581263.1 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN111705303B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 曹路;宋凤麒 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;F04B37/14;F04B39/10;F04B41/06;F04B49/22 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种差分的空气动力学设计在气体团簇束流源应用，使用适用于气相冷凝团簇源冷凝腔出口处的特斯拉型不可动微阀；利用气流从特斯拉不可动微阀单向流动的低阻方向性，在较低真空泵组和冷凝气流量的条件下，维持冷凝腔高的气压和真空腔低的本底气压；将特斯拉不可动微阀的低阻方向和团簇源从高压冷凝腔到低压的真空腔的指向反向，使冷凝腔中气体不易进入真空腔体；同时控制特斯拉不可动微阀中与直形轨道接口连通的半环轨道个数，调节特斯拉不可动微阀单向流阻大小；高气压的冷凝腔实现更有效的团簇和纳米颗粒合成。 | ||
| 搜索关键词： | 种差 空气动力学 设计 气体 团簇束流源 应用 装置 | ||
【主权项】：
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