[发明专利]阻变存储器、阻变存储器芯片及其制备方法

摘要

一种阻变存储器、阻变存储芯片及其制备方法。该阻变存储器包括晶体管和阻变存储元件。该晶体管包括第一源漏极、栅极、第二源漏极以及分别与第一源漏极、栅极和第二源漏极电连接的第一源漏极连接电极、栅极连接电极和第二源漏极连接电极。该阻变存储元件包括第一电极、第二电极以及在第一电极和第二电极之间的阻变层，第一电极通过第二源漏极连接电极与第二源漏极电连接。第一源漏极连接电极、栅极连接电极、第二源漏极连接电极和阻变存储元件沿第一方向并列排布在同一平面上。由此，该阻变存储器可以实施限流作用下的原位透射电镜观测实验，并且得到高可靠性的实验数据。