[发明专利]玻璃镀膜设备及其平面阴极在审
| 申请号： | 202010543545.2 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111663108A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 董清世;陈大伟 | 申请（专利权）人： | 信义玻璃（天津）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 李金伟 |
| 地址： | 300000 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本申请属于玻璃镀膜技术领域，尤其涉及一种玻璃镀膜设备及其平面阴极，该平面阴极包括阴极背板和至少两个平面靶材，阴极背板具有安装面，各平面靶材均安装于安装面上，各平面靶材间隔设置，相邻的两个平面靶材之间均形成有间隙槽，相邻的两个平面靶材彼此相对的端面设置有第一凸起和第二凸起，在沿垂直于安装面的方向上，第一凸起和第二凸起上下设置，第一凸起的凸伸高度与第二凸起的凸伸高度之和大于等于间隙槽的槽宽。该平面阴极相邻两个平面靶材拼接时不会出现由上而下垂直贯穿的缝隙，这样溅射气体不会通过垂直缝隙对阴极背板的侵蚀，也解决了阴极靶材背板受长时间溅射而被侵蚀损坏的问题，有效的提升了平面阴极的寿命，提高了镀膜产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 镀膜 设备 及其 平面 阴极 | ||
【主权项】：
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