[发明专利]ITO薄膜及ITO透明导电玻璃的制备方法有效
| 申请号： | 202010450401.2 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111785440B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 宋世金;朱刘;任丽 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种ITO薄膜的制备方法，其包括如下步骤：S1：衬底清洗；S2：在衬底上采用磁控溅射生长变温缓冲层；S3：在变温缓冲层上采用磁控溅射生长取向生长层；S4：取向生长层到达设定的厚度后，停止生长；变温生长层和取向生长层共同形成ITO薄膜。与现有技术相比，本ITO薄膜及ITO透明导电玻璃的制备方法无需引入异质诱导层，具有工艺简便易控、易于大规模生产的优点，且在获得（004）择优取向ITO薄膜的同时，不会造成化学计量比尤其是氧缺位浓度的变化，ITO薄膜组分均一，ITO透明导电玻璃的透明导电性能优异。 | ||
| 搜索关键词： | ito 薄膜 透明 导电 玻璃 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先导薄膜材料（广东）有限公司，未经先导薄膜材料（广东）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010450401.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防护服
- 下一篇：一种绝缘电缆用硅橡胶复合材料及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
