[发明专利]基于太赫兹的涂层厚度检测方法和装置在审
| 申请号： | 202010424953.6 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111751314A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;刘德峰;于淼;杨超;高云端 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所;中航高科智能测控有限公司;北京瑞赛长城航空测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3586 | 分类号： | G01N21/3586;G01B11/06;G01N21/41 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 王世磊 |
| 地址： | 100022 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于太赫兹的涂层厚度检测方法和装置，该方法包括以下步骤：应用反射式太赫兹时域光谱检测系统，对涂层交界处的待测量试样进行检测，同时测量太赫兹波穿过空气、穿过被检测的涂层和涂层表面反射的回波信号，作为太赫兹时域光谱的参考信号，建立太赫兹厚度方程，将第一步得到了回波信号的两个时间差分别代入到已经建立的方程中，从而得到涂层的厚度。本发明可为多层涂层厚度的高精度、快速检测提供新的检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 赫兹 涂层 厚度 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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