[发明专利]一种真空镀膜工艺腔及具有其的真空悬浮镀膜机在审
| 申请号： | 202010400910.4 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111519161A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 胡磊;周芸福;黎微明;李翔;胡彬;左敏 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 朱少华 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种真空镀膜工艺腔，包括腔盖、腔壁和腔底板，还包括喷淋系统和加热吹托系统；所述喷淋系统包括成份进道、导流板和喷淋板，所述导流板设置在喷淋板上部，所述导流板中设置导流槽，所述成份进道固定在所述导流板的左、右两端；所述加热吹托系统包括加热板和吹气板，所述加热板提高工艺腔内环境的温度，所述吹气板向薄膜基带的底部吹出惰性气体托起薄膜基带。本发明还提供了一种真空悬浮镀膜机，包括前述的真空镀膜工艺腔，还包括放卷腔、放卷过渡腔、收卷过渡腔和收卷腔。本发明本采用了一种真空悬浮技术，降低了原本真空镀膜工艺腔中对托辊加工、安装、调校精度要求，另一方面也保证了薄膜运行和镀膜工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 工艺 具有 真空 悬浮 镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏微导纳米科技股份有限公司，未经江苏微导纳米科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010400910.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
