[发明专利]一种锗硅异质结晶体管抗单粒子效应的加固方法有效
| 申请号： | 202010355945.0 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN111508933B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 张晋新;郭红霞;付军;王玉东;欧阳晓平;潘霄宇;王信;孙静 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/556 | 分类号： | H01L23/556;H01L29/737 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 710071 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种锗硅异质结晶体管抗单粒子效应的加固方法，包括：在多个锗硅异质结晶体管中筛选出符合预设电学特性的锗硅异质结晶体管作为初选锗硅异质结晶体管；对初选锗硅异质结晶体管在预设偏置电压下进行伽马射线预辐照，以获取加固锗硅异质结晶体管；在多个加固锗硅异质结晶体管中筛选出符合预设电学特性的加固锗硅异质结晶体管作为抗单粒子效应锗硅异质结晶体管；根据相同激光脉冲能量且相同偏置电压条件下，初选锗硅异质结晶体管和抗单粒子效应锗硅异质结晶体的单粒子瞬态信号差异，获取最佳激光脉冲能量和最佳偏置电压。本发明以实现不通过改变工艺和器件结构，在低成本下实现晶体管抗单粒子效应的能力提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锗硅异质 结晶体 管抗单 粒子 效应 加固 方法 | ||
【主权项】：
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