[发明专利]一种能够匹配SE+碱抛的单晶硅电池片扩散提效工艺有效

专利信息
申请号: 202010344852.8 申请日: 2020-04-27
公开(公告)号: CN111508829B 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 王奎 申请(专利权)人: 徐州谷阳新能源科技有限公司
主分类号: H01L21/225 分类号: H01L21/225;H01L31/18;H01L31/068
代理公司: 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) 32326 代理人: 朱磊
地址: 221300 江苏省徐州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种能够匹配SE+碱抛的单晶硅电池片扩散提效工艺,属于太阳能电池技术领域。本发明可以将太阳能电池片扩散后的方阻由125‑130/sq,提升至140‑150Ω/sq,具体结果根据使用的扩散炉会有所不同,开压提升2毫伏,效率提升0.1%以上。可匹配选择性发射极(SE)+碱抛,实现规模化量产。
搜索关键词: 一种 能够 匹配 se 单晶硅 电池 扩散 工艺
【主权项】:
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