[发明专利]一种自旋转光纤镀膜掩膜装置及应用该装置的镀膜方法有效
| 申请号： | 202010324143.3 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111349886B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 崔俊龙;江秀娟 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈伟斌 |
| 地址： | 510060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自旋转光纤镀膜掩膜装置，包括固定支撑结构、设于固定支撑结构上并用于光纤旋转的驱动结构以及对光纤在镀膜时进行掩膜保护的掩膜结构。本发明的自旋转光纤镀膜掩膜装置在镀膜过程中具有均匀的旋转速度，可以在光纤圆柱侧面上均匀的溅射膜层，整个自旋转光纤镀膜掩膜装置具有单独封闭结构，即使出现故障也不会影响镀膜腔室的环境、镀膜质量，更不会破坏镀膜装置。该装置体积小，结构坚固非常适用于磁控溅射仪此类镀膜室空间狭小的镀膜仪。此装置设计有掩膜结构，可以实现多膜结构的工艺。另外，此装置还适用于其他柱状体的侧面镀膜且镀膜仪器除磁控溅射仪外，亦可用真空蒸镀或离子镀膜仪替代。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 光纤 镀膜 装置 应用 方法 | ||
【主权项】：
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