[发明专利]基于飞秒激光直写的可调谐波导光栅滤波器及其制造方法有效
| 申请号： | 202010315538.7 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113534341B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 訾幸壮;尹小杰;杨堃;赵青;李彩云;孙静雯;常夏森 | 申请（专利权）人： | 河南仕佳光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/136;G02B6/13;G02B6/132;G02B6/12;G02F1/01 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 郑园 |
| 地址： | 458030 河南省鹤壁市*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于飞秒激光直写的可调谐波导光栅滤波器及其制造方法，包括晶圆基底，所述晶圆基底的上部设有上包层，上包层的上部依次设有电极层和引线层，且电极层和引线层的宽度均小于上包层的宽度；所述上包层内设有波导芯层，且波导芯层上设有采用飞秒激光直写的波导光栅。本发明采用石英基PLC光波导技术与飞秒激光直写相结合，对现有的工艺进行了改进，降低了开发和工艺成本；实现了在晶圆上制作各种类型的光栅滤波器，通过电极层可以实现波长可调谐，增加了光学芯片系统的灵活性；通过控制飞秒激光的功率、扫描区域宽度、重复扫描次数等，可以控制折射率变化的大小，实现了对光栅参数的精准控制。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 调谐 波导 光栅 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南仕佳光子科技股份有限公司，未经河南仕佳光子科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010315538.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：信息显示方法、装置、终端及存储介质
- 下一篇：一种微镜装置及其制备方法
