[发明专利]氧化铝薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202010190187.1 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111270208A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 张伟丽;余振;朱瑞;易葵;刘晓凤;王胭脂;朱美萍;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种氧化铝薄膜的制备方法，该方法包括膜料清洗提纯、膜料预熔和电子束反应蒸发氧化铝薄膜沉积过程，所述膜料为金属铝颗粒或块体，反应气体为氧气。本发明充分利用了电子束反应蒸发在速率稳定性和充分氧化方面的优势，可以制备出低吸收低缺陷氧化铝薄膜，大幅度降低氧化铝薄膜的紫外吸收性能和缺陷密度。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铝 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010190187.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种页岩压裂形成缝网复杂程度的预测方法
- 下一篇：一种地埋式给水装置及便器
- 同类专利
- 专利分类
