[发明专利]一种级联作用型半导体气体传感器有效
| 申请号： | 202010150044.8 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111272826B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 刘黎明;惠裕充;迟锋;易子川;张智 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学中山学院 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 重庆萃智邦成专利代理事务所(普通合伙) 50231 | 代理人： | 舒梦来 |
| 地址： | 528402 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种级联作用型半导体气体传感器，包括衬底层，所述衬底层的上方设置有叉指电极层，所述叉指电极层的上方设置有第一半导体薄膜层，所述第一半导体薄膜层的上方设置有多个间隔排列的第二半导体块,所述多个第二半导体块的上方均设置有贵金属块；所述第一半导体薄膜层位于第二半导体块之间的部分还设置有孔洞；这种级联的移动方式导致第一半导体薄膜层中更多的电子与空穴分离，从而使得第一半导体薄膜层的电阻剧烈变化；另外，通过光入射，在贵金属块表面引发表面等离激元共振，从而在第二半导体块表面聚集强电场，强电场可以进一步的调节第一半导体薄膜层的电阻剧烈变化，通过检测第一半导体薄膜层的电阻变化就可以实现气体探测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 级联 作用 半导体 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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