[发明专利]一种单片集成的平衡探测器芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 202010133205.2 | 申请日： | 2020-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN111193183A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 薛正群;李敬波;李秋;苏辉 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/026 | 分类号： | H01S5/026;H01L31/0232;H01L31/103;H01L31/18;H01S5/343 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 钱莉;蔡学俊 |
| 地址： | 362712 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单片集成的平衡探测器芯片及其制备方法，包括N‑InP衬底、分别设置于N‑InP衬底上的激光器外延结构与探测器外延结构、以及设置于激光器外延结构与探测器外延结构相邻区域的电隔离层。本发明在InP衬底上实现了激光光源、MMI波导、探测器的单片集成，可以实现对MMI输出端干涉光纤的监控和调控，同时单片集成减小了器件整体的体积和封装成本，有利于进一步的集成化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单片 集成 平衡 探测器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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