[发明专利]OPC数据采集方法在审
| 申请号： | 202010104203.0 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN111311582A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 柯顺魁 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OPC数据采集方法，包括步骤：步骤一、在晶圆上形成多个测试图形；步骤二、采用CD SEM对各测试图形进行测量形成对应的原始测量图像；步骤三、对原始测量图像进行异常图像识别，包括如下分步骤：步骤31、对各原始测量图像进行灰度转换形成对应的中间转换图像；步骤32、对中间转换图像进行特征值提取；步骤33、根据提取的特征值计算各中间转换图像之间的相关系数；步骤34、根据相关系数识别出异常图像并将异常图像过滤掉。本发明能实现自动化的异常图像识别和异常数据过滤，并从而能有效减轻OPC数据量测过程中的工程师人工经验干预，既保证了OPC数据采集的有效性，也减轻了OPC工程师的工作负荷。 | ||
| 搜索关键词： | opc 数据 采集 方法 | ||
【主权项】：
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