[发明专利]具有同步框架的多轴陀螺仪有效
| 申请号： | 202010092779.X | 申请日： | 2020-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN111578921B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 安斯·布卢姆奎斯特;维莱-佩卡·吕特克宁 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 黄霖;李新燕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开描述了一种微机电多轴陀螺仪，该微机电多轴陀螺仪包括：四个基准质量块的组、用于从中央锚定点悬置四个基准质量块的组的中央悬架装置。该陀螺仪还包括同步框架和四个检测质量块的组。一个或更多个侧向角弹簧从侧向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块，并且一个或更多个横向角弹簧从横向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 同步 框架 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010092779.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有用于食管的热保护的二氧化碳递送系统的经食管导管
- 下一篇：毛发护理组合物
- 同类专利
- 具有同步框架的多轴陀螺仪-202010092779.X
- 安斯·布卢姆奎斯特;维莱-佩卡·吕特克宁 - 株式会社村田制作所
- 2020-02-14 - 2023-10-24 - G01C19/5712
- 本公开描述了一种微机电多轴陀螺仪，该微机电多轴陀螺仪包括：四个基准质量块的组、用于从中央锚定点悬置四个基准质量块的组的中央悬架装置。该陀螺仪还包括同步框架和四个检测质量块的组。一个或更多个侧向角弹簧从侧向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块，并且一个或更多个横向角弹簧从横向相邻的基准质量块延伸至每个检测质量块。
- 微机电陀螺仪以及微机电器件-202320081825.5
- P·费德利;L·奎利诺尼;P·卡鲁里;L·G·法罗尼 - 意法半导体股份有限公司
- 2023-01-11 - 2023-10-20 - G01C19/5712
- 本公开的实施例涉及微机电陀螺仪以及微机电器件。一种微机电陀螺仪，包括：衬底，具有顶表面；可移动质量块，悬置在衬底上方；第一定子元件和第二定子元件，悬置于可移动质量块和衬底的顶表面之间；中央机械锚固结构，耦合到衬底，中央锚固结构包括耦合到衬底的第一部分，第一部分以第一方向位于第一定子元件和第二定子元件之间，中央锚固结构包括耦合到第一定子元件和第二定子元件的第二部分，第一部分以第二方向位于第二部分和衬底之间，第二方向横向于第一方向；以及弹性元件，将可移动质量块耦合到中央机械锚固结构。利用本公开的实施例有利地允许消除由衬底的变形引起的检测结构的电性能的漂移。
- 微机电设备-202320666411.9
- L·G·法罗尼;P·卡鲁里;P·费德利;L·奎利诺尼 - 意法半导体股份有限公司
- 2023-03-30 - 2023-09-29 - G01C19/5712
- 本公开的实施例涉及微机电设备。提出了MEMS角速率传感器，MEMS角速率传感器具有在半导体层上被微机械加工的两对悬置质量块。第一对包括彼此相对且镜像的两个质量块。第一对质量块具有驱动结构，以用于在线性方向上生成机械振动。第二对质量块包括彼此相对且镜像的两个质量块。第二对质量块利用耦合元件耦合到第一对驱动质量块。两对质量块被耦合到中心桥。中心桥具有差分配置，以用于排除任何外部干扰。两对质量块中的每个质量块包括不同的部分，以用于检测不同的线性运动和角度运动。
- 微机械陀螺仪及电子产品-202210214435.0
- 马昭;占瞻;阚枭;杨珊;严世涛;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉;洪燕 - 瑞声开泰科技（武汉）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
- 2022-03-04 - 2023-09-12 - G01C19/5712
- 本发明提供了一种微机械陀螺仪及电子产品，该微机械陀螺仪包括驱动组件、检测组件、两个第一连接组件和两个第二连接组件。其中，驱动组件包括第一驱动件、第二驱动件和驱动装置，驱动装置用于驱动第一驱动件和第二驱动件运动；检测组件包括沿第三方向布置的两个第一检测件、沿第四方向布置的两个第二检测件和检测装置，检测装置用于检测第一检测件和/或第二检测件沿第五方向的运动距离；第一连接组件和第二连接组件分别绕其圆心转动，以使第二检测件能够沿第三方向往复运动、第一检测件能够沿第四方向往复运动。本发明的微机械陀螺仪及电子产品可以实现差分检测，有效免疫加速度冲击以及正交误差的影响。
- 用于在低频噪声存在下感测角运动的系统和方法-201910665997.5
- 严杰锋;W·A·克拉克;R·A·小卡普斯塔 - 美国亚德诺半导体公司
- 2019-07-23 - 2023-08-22 - G01C19/5712
- 本公开涉及用于在低频噪声存在下感测角运动的系统和方法。描述使用微机电系统(MEMS)陀螺仪来感测角运动的系统和方法。这些系统和方法可用于在存在低频噪声的情况下感测角运动，低频噪声可以是低于1KHz的噪声。在用于感测角运动的系统中，低频噪声可引起占空比抖动，这可影响感测信号的解调并导致角运动估计的误差。本文描述的系统和方法通过依赖于双边沿相位检测技术解决了这个问题，该技术涉及在理想化的50％占空比情况下感测谐振器信号的上升沿和下降沿何时偏离它们的预期值。为了防止在双边沿相位检测中形成纹波，否则可影响感测信号的解调，可以使用开关。当接收到纹波时，开关可以保持在非导通状态。
- 平衡多轴陀螺仪-202010095127.1
- 安斯·布卢姆奎斯特;维莱-佩卡·吕特克宁 - 株式会社村田制作所
- 2020-02-14 - 2023-07-21 - G01C19/5712
- 微机电陀螺仪包括围绕第一四个块的组的中心点定中心的第一四个基准质量块的组和围绕第二四个块的组的中心点定中心的第二四个基准质量块的组。陀螺仪包括悬架装置，该悬架装置构造成适应第一四个基准质量块的组和第二四个基准质量块的组的初级振荡运动和次级振荡运动。悬架装置包括第一同步框架和第二同步框架。每个同步框架包围相应的四个基准质量块的组，并且每个基准质量块通过一个或更多个框架悬架弹簧联接至周围的同步框架。陀螺仪还包括侧向同步弹簧，该侧向同步弹簧从第一四个基准质量块的组延伸至第二四个基准质量块的组。
- 具有面外检测运动的微机电陀螺仪-202310041100.8
- P·费德利;L·奎利诺尼;P·卡鲁里;L·G·法罗尼 - 意法半导体股份有限公司
- 2023-01-11 - 2023-07-18 - G01C19/5712
- 本公开的实施例涉及具有面外检测运动的微机电陀螺仪。微机电陀螺仪设置有检测结构，该检测结构具有：具有平行于水平面的顶表面的衬底；一个可移动质量，该可移动质量被悬置在该衬底上方以根据围绕该水平面的一个第一轴线的一个第一角速度来执行围绕该水平面的一个第二轴线的旋转的至少一个第一检测移动；以及第一定子元件和第二定子元件，所述第一定子元件和所述第二定子元件与所述衬底成一体并且布置在所述移动质量下方以限定电容耦合，所述第一定子元件和所述第二定子元件的电容值表示所述第一角速度。
- MEMS陀螺仪-202011490577.7
- 占瞻;马昭;阚枭;杨珊;李杨;谭秋喻;洪燕;黎家健 - 瑞声科技（南京）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
- 2020-12-16 - 2023-06-16 - G01C19/5712
- 本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括环形结构以及绕环形结构的中心圆周均匀分布并经第一连接部与环形结构内侧或外侧连接的多个质量块；相邻两个质量块之间通过第二连接部连接，质量块通过弹性结构连接锚点，环形结构为正4N角星，质量块的数量为4N个，其中，N为整数，且N≥2。本发明的MEMS陀螺仪采用多段直线构型的星形，直线构型使星形的边内呈现统一的杨氏模量，最终提升了星形结构的杨氏模量均匀性，可以更好地发挥星形轴对称结构振动的各项同性特点，驱动模态与检测模态具有更小的频率差，拥有更高的灵敏度。而且参与角速度敏感的质量块布满MEMS陀螺仪的非敏感限制区域，可拥有更大的哥氏力，极大提升了芯片的面积使用率，增加了传感器的灵敏度。
- 微机电多轴角速度感测器-202111254140.8
- 曾立天 - 苏州明皜传感科技股份有限公司
- 2021-10-27 - 2023-05-23 - G01C19/5712
- 一种微机电多轴角速度感测器，包括一基板和一微机电晶圆层平行相对设置，以及多个固定锚将该微机电晶圆层连接以固定至该基板上。该微机电晶圆层包括至少二驱动及感测结构、一第三驱动环以及二个摆动质量块。每一驱动及感测结构包括一驱动环、多个驱动电梳对结构及多个感测验证质量块，该多个驱动电梳对结构和该多个感测验证质量块分别连接该对应的驱动环。第三驱动环设置于该二驱动环之间并连接该二驱动环，其中，在一驱动模态时，该多个驱动电梳对结构驱动对应的该驱动环进行周期性旋转运动，并且该二驱动环带动该第三驱动环进行周期性旋转运动。二个摆动质量块分别连接该第三驱动环并位于该第三驱动环外相对二侧。
- 一种微机械陀螺仪及电子产品-202310127020.4
- 马昭;严世涛;杨珊;占瞻;阚枭;李杨;陈秋玉;黎家健 - 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
- 2023-02-14 - 2023-05-09 - G01C19/5712
- 本发明提供了一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块、驱动件、第一连接梁和第二连接梁，第一质量块和第二质量块均设置有多个，第一质量块沿第一方向相对设置，第二质量块位于第一质量块之间，沿与第一方向垂直的第二方向，第二质量块相对设置；驱动件设置有多个，沿第二方向，驱动件位于第一质量块和第二质量块的相对两侧；第一连接梁和第二连接梁均为柔性梁；其中，第一质量块沿第二方向的两端分别通过第一连接梁和位于第一质量块两侧的驱动件连接，第二质量块和与其相邻的驱动件之间通过第二连接梁连接。本发明提供的微机械陀螺仪及电子产品，降低了质量块在不同模态下的互相干扰程度，有利于提高检测精度。
- 一种三轴MEMS陀螺仪-202010029730.X
- 王辉 - 无锡莱斯能特科技有限公司
- 2020-01-13 - 2023-05-02 - G01C19/5712
- 本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括基底；第一检测部，用于检测绕X方向的角速度；第二检测部和第三检测部，对称设置在第一检测部的两侧，分别和第一检测部相连，并被设置为能够提供方向相反的驱动力，以及能用于检测绕Y方向和绕Z方向的角速度；其中，X方向垂直于Y方向，Z方向垂直于X方向和Y方向；和悬挂装置，通过锚点组悬浮设置在基底上，并设置在第一检测部、第二检测部和第三检测部外侧，和第二检测部及第三检测部相连；悬挂装置被设置为能使得第二检测部和第三检测部发生沿Z方向的运动时，第二检测部和第三检测部保持平行于或大致平行于基底。本发明的三轴MEMS陀螺仪的结构紧凑、低成本，并能减弱或消除双倍频，其输出信号强。
- 一种微机械陀螺仪及电子产品-202310127029.5
- 马昭;阚枭;严世涛;杨珊;占瞻;李杨;陈秋玉;黎家健 - 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
- 2023-02-14 - 2023-04-18 - G01C19/5712
- 本发明提供微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块、第一驱动件、第二驱动件、第一耦合部件和第二耦合部件，第一质量块沿第一方向相对设置，第二质量块、第一驱动件和第二驱动件位于第一质量块之间，第一驱动件和第二驱动件沿第一方向相对设置，沿第二方向，第二质量块位于第一驱动件和第二驱动件的相对两侧；位于第一驱动件背离第二驱动件的一侧的第一质量块与第一驱动件通过第一耦合部件连接，位于第二驱动件背离第一驱动件的一侧的第一质量块与第二驱动件通过第一耦合部件连接，第二质量块沿第一方向的两端分别通过第二耦合部件与第一驱动件和第二驱动件连接。如此设置，能够降低质量块在不同模态下的互相干扰程度。
- 陀螺仪-202210130251.6
- 黄占喜;周宁宁 - 绍兴圆方半导体有限公司
- 2022-02-11 - 2023-04-11 - G01C19/5712
- 本申请实施例涉及陀螺仪技术领域，特别涉及一种陀螺仪，包括：衬底，衬底上设置有：Z轴检测结构，Z轴检测结构包括沿第一方向对称设置的2个Z轴质量块；联动部件，联动部件用于驱动2个Z轴质量块反向移动，以产生电容变化，联动部件包括：4个L型刚性梁，4个L型刚性梁合围成第一容纳区，Z轴质量块位于第一容纳区内，其中，在第一方向上正对的两个L型刚性梁的长轴通过第一耦合连接件相连，L型刚性梁的短轴与正对的Z轴质量块的侧壁相连。本申请实施例有利于提高陀螺仪的检测精度。
- 一种使飞行器平衡的压电合成喷陀螺仪-202210022246.3
- 张娜;于振环;赵宇 - 长春汽车工业高等专科学校
- 2022-01-10 - 2023-04-07 - G01C19/5712
- 一种使飞行器平衡的压电合成喷陀螺仪，涉及一种陀螺仪。封装外壳内部对称设置两个核心驱动器安装腔和两个热敏元件安装腔，核心驱动器安装腔与热敏元件安装腔内侧端通过喷口连接为一体，核心驱动器安装腔侧壁设置薄膜，热敏元件安装腔外侧端固定检测电路，热敏元件安装腔内部固定两个热敏元件，两个核心驱动器对称固定在两个核心驱动器安装腔内。以压电泵技术为基础并结合了合成喷技术设计出核心驱动器，结构简单、重量轻、便于安装，具有良好的发展前景。
- 具有实现受控振荡幅度的谐振驱动回路的微机电陀螺仪及控制微机电陀螺仪的方法-202210743074.9
- A·多纳代尔;E·拉维利;S·波勒塞尔 - 意法半导体股份有限公司
- 2022-06-27 - 2023-01-13 - G01C19/5712
- 本公开涉及具有实现受控振荡幅度的谐振驱动回路的微机电陀螺仪及控制微机电陀螺仪的方法。一种微机电陀螺仪，包括：支撑结构；根据驱动轴是可移动的驱动块；以及振荡微机电回路。微机电回路具有谐振频率和回路增益，并且包括：驱动块、对驱动块的位置进行感测的感测接口、以及在谐振频率下将回路增益的模数保持为单位值的增益控制级。增益控制级包括开环配置中的采样器和跨导运算放大器。采样器在第一操作条件下从感测接口获取回路信号的样本，并且在第二操作条件下将它们传递到跨导运算放大器。采样器在第一操作条件和第二操作条件下将跨导运算放大器与感测接口解耦。
- 一种三轴陀螺仪-202210981204.2
- 占瞻;马昭;阚枭;严世涛;杨珊;陈秋玉;李杨;黎家健 - 瑞声开泰科技（武汉）有限公司
- 2022-08-16 - 2022-12-20 - G01C19/5712
- 本发明提供了一种三轴陀螺仪，包括驱动结构、第一敏感结构、第二敏感结构、第三敏感结构以及多个锚定结构，驱动结构用于驱动三轴陀螺仪，第一敏感结构用于敏感第一方向的角速度，第二敏感结构用于敏感第二方向的角速度，第三敏感结构用于敏感第三方向的角速度。第一敏感结构、第二敏感结构以及第三敏感结构相互独立，且能够在第一检测模态、第二检测模态以及第三检测模态下能够相互解耦，能够有效避免产生耦合误差，且在第一检测模态、第二检测模态或第三检测模态下可以同时兼容电学正交抑制和电容模态匹配，从而能够补偿由于加工不对称导致的结构性能损失，降低正交误差，提高三轴陀螺仪的检测精度和整体性能。
- 一种微机电轮式双水平轴陀螺-201910953192.0
- 赵前程;杨海兵;崔健 - 北京大学
- 2019-10-09 - 2022-10-21 - G01C19/5712
- 本发明公开了一种微机电轮式双水平轴陀螺，用于检测围绕水平面内X、Y轴的旋转，其特征在于：它包括外框、外环、内框、内环、敏感质量块、驱动梳齿、驱动检测梳齿、驱动连接梁、连接梁、扭转梁、检测电极、锚点和衬底，整个陀螺结构同时关于器件平面的X轴和Y轴对称。驱动梳齿连接在外框上，驱动检测梳齿连接在内框上，外框一方面通过驱动连接梁和锚点连接，另一方面通过连接梁和外环连接，内框一方面通过中间连接梁和中间锚点连接，另一方面通过连接梁和内环连接，敏感质量块一方面通过扭转梁和外环连接，另一方面通过扭转梁和内环连接，检测电极位于敏感质量块下方并固定在衬底上，结构层通过锚点和衬底固定连接。
- 用于减小非线性运动的构型-201811189802.6
- 奥赞·阿纳奇;约瑟夫·西格 - 应美盛公司
- 2015-01-21 - 2022-10-18 - G01C19/5712
- 本申请涉及用于减小非线性运动的构型。其中，披露了用于修改弹簧质量构型的多个实施例，这些实施例将不想要的非线性运动对MEMS传感器的影响最小化。这些修改包括以下任何各项中的任一项或任何组合：在该弹簧质量构型的多个旋转结构之间提供一个刚性元件、在这些旋转结构之间调谐一个弹簧系统并且将一个电消除系统联接至这些旋转结构上。在进行这样不想要的线性运动时，将例如不想要的二阶谐振运动最小化。
- 基于频率调制的角速率传感器及其驱动策略-202210150174.0
- 阿龙·A·盖斯贝格尔 - 恩智浦美国有限公司
- 2022-02-18 - 2022-09-02 - G01C19/5712
- 一种角速率传感器包括与衬底的表面间隔开的第一检验质量块和第二检验质量块。第一驱动系统和第二驱动系统中的各一个与所述第一检验质量块和所述第二检验质量块中的各一个互连。所述第一驱动系统和所述第二驱动系统实现所述第一检验质量块和所述第二检验质量块在驱动频率下在轨道驱动方向上沿着第一轴线和第二轴线两者的驱动运动，所述第一轴线垂直于所述衬底的所述表面，而所述第二轴线平行于所述衬底的所述表面。所述传感器对围绕平行于所述衬底的所述表面且垂直于所述第二轴线定向的第三轴线的角速度敏感，并且所述第一检验质量块和所述第二检验质量块的所述驱动运动的所述驱动频率响应于所述角速率传感器围绕所述第三轴线的所述角速度而变化。
- 具有中心定位的耦合结构的角速率传感器-202210080442.6
- 阿龙·A·盖斯贝格尔;邵鹏 - 恩智浦美国有限公司
- 2022-01-24 - 2022-08-26 - G01C19/5712
- 一种角速率传感器包括与衬底的表面间隔开的第一、第二、第三和第四检验质量块，第一、第二、第三和第四检验质量块中的每一者被配置成沿着平行于衬底的表面的第一和第二横向轴移动。第一耦合结构插入在第一与第二检验质量块之间且互连第一和第二检验质量块。第二耦合结构插入在第二与第三检验质量块之间且互连第二和第三检验质量块。第三耦合结构插入在第三与第四检验质量块之间且互连第三和第四检验质量块。第四耦合结构插入在第四与第一检验质量块之间且互连第四检验质量块和第一检验质量块。第一、第二、第三和第四耦合结构被配置成约束第一、第二、第三和第四检验质量块中的相邻检验质量块沿着第一和第二横向轴的同相运动。
- 三轴陀螺仪-202210539045.0
- 黄占喜;周宁宁;刘爽;曲鹏;黄克刚 - 绍兴圆方半导体有限公司
- 2022-05-18 - 2022-08-23 - G01C19/5712
- 本申请公开了一种三轴陀螺仪，包括衬底、第一X/Z轴检测质量块、第二X/Z轴检测质量块、第一驱动质量块和第二驱动质量块；Y轴检测质量块包括第一镂空部；第一驱动质量块、第一X/Z轴检测质量块、第二X/Z轴检测质量块和第二驱动质量块沿X向依次排列及弹性连接，并位于第一镂空部内；Y轴检测质量块在X向分别与第一驱动质量块、第二驱动质量块弹性连接；第一X/Z轴检测质量块和第二X/Z轴检测质量块沿Y向做方向相反的谐振运动，用于检测绕X轴和绕Z轴的角速度；Y轴检测质量块在XY平面内做往复旋转运动，用于检测绕Y轴的角速度。本申请对三轴的角速度进行独立检测，检测结果准确，并且可靠性更好。
- 一种无人机飞行控制子系统三轴速率陀螺仪装置-202122954398.0
- 丁帅 - 黑龙江广森测绘科技股份有限公司
- 2021-11-29 - 2022-07-26 - G01C19/5712
- 本实用新型涉及人机飞行控制子系统技术领域，且公开了一种无人机飞行控制子系统三轴速率陀螺仪装置，包括固定底座，固定底座的下端内表面固定连接有第一安装侧板，第一安装侧板的右侧外表面固定连接有第二安装侧板，第一安装侧板的后端外表面固定连接有隔热板。该一种无人机飞行控制子系统三轴速率陀螺仪装置，在陀螺仪本体使用时，无人机的其他器件热量通过固定侧板进入到内部时，通过隔热板和预留的空间，可将热量阻挡在隔热板外部，这样可造成内部元器件因热量过大导致损坏，同时通过隔热板内表面的除潮块可防止设备使用一段时间后液体从底部进入到底座内部，防止液体侵蚀内部元器件，加强使用寿命。
- 一种轮式水平轴陀螺栅条状耦合抑制结构-201910953193.5
- 赵前程;杨海兵;崔健 - 北京大学
- 2019-10-09 - 2022-07-12 - G01C19/5712
- 本发明公开了一种用于振动轮式水平轴陀螺耦合抑制结构。所述轮式水平轴陀螺包括单检测轴水平轴陀螺和双检测轴水平轴陀螺。所发明的适用于轮式水平轴陀螺的耦合抑制结构为栅条状，其特征为：两两一组关于几何中心成中心对称分布。本发明的耦合抑制电极同样为栅条状结构，与栅条状抑制结构交叉分布。本发明的有益效果为：由于加工误差的存在，水平轴陀螺在驱动状态无角速度输入时会产生离面位移产生耦合信号，通过对底部耦合抑制电极施加直流电压，由于栅条状结构与底部耦合电极的交叠，产生静电力作用在栅条状结构上将平衡离面位移从而抑制耦合信号。通过调节耦合抑制电极上的直流电压，将耦合信号降到最小，将显著提高水平轴陀螺的器件性能。
- 一种陀螺仪-201811648843.7
- 孟珍奎;刘雨微 - 瑞声声学科技（深圳）有限公司
- 2018-12-30 - 2022-07-01 - G01C19/5712
- 本发明提供了一种陀螺仪，所述陀螺仪包括固定框架以及收容于所述固定框架内的振动单元，所述振动单元包括质量块及环绕所述质量块的连接框架，所述陀螺仪还包括连接所述振动单元与所述固定框架的第一连接件以及连接所述质量块与所述连接框架第二连接件，使得所述振动单元以第一连接件为中心轴转动，所述质量块以第二连接件为中心轴转动。本发明的结构能够使得陀螺仪在转动检测的时候，转动角度大，从而使得振动幅度较强，最终使得信号输出强。
- 带有用于频率各向异性的机械补偿的传感器-202080072765.X
- A·金洛伊;P·恩夫罗伊 - 赛峰电子与防务公司
- 2020-10-15 - 2022-06-07 - G01C19/5712
- 带有振动谐振器的角度传感器，包括支承结构(100)、同心的第一质量件(1)和第二质量件(2)，以及成对(13.1、13.2、13.3)对称布置的机械弹簧(10)，这些对本身相对于彼此对称布置。每个弹簧(10)包括通过一端彼此连接的第一弹性片(11)和第二弹性片(12)，每对(13.1、13.2、13.3)弹簧(10)中的一个弹簧的第一弹性片(11)与同一对弹簧(10)中的另一个弹簧的第二弹性片(12)平行。至少一对(13.1、13.2、13.3)的四个弹性片包括两个相邻对的使其之间的角度约为45°的片(11、12)。传感器未设有静电弹簧。
- 一种微机电两轴陀螺仪-201710432994.8
- 邹波;郭梅寒 - 深迪半导体（绍兴）有限公司
- 2017-06-09 - 2022-04-05 - G01C19/5712
- 本发明提供了一种微机电两轴陀螺仪，驱动结构包括驱动质量块和驱动电极，驱动质量块与驱动电极构成驱动电容；驱动电容用于驱动所述驱动质量块在一特定方向上做往复振动；每个检测结构包括检测质量块和检测电极，检测质量块与检测电极构成检测电容；检测电容用于检测驱动质量块上产生的科氏力带动检测质量块绕第一轴或第二轴运动而引起的电容变化。由于驱动质量块做往复振动的方向与检测质量块运动的方向即绕第一轴和第二轴运动的方向均不同，因此，在无角速度输入即无科氏力的情况下，驱动质量块不会带动检测质量块运动，从而可以实现驱动模态下驱动结构和检测结构的机械解耦，进而可以减小陀螺仪的输出正交误差，提高陀螺仪的输出精度。
- 一种环形三轴解耦微陀螺仪-202010969386.2
- 夏敦柱;张兵 - 东南大学
- 2020-09-15 - 2022-03-18 - G01C19/5712
- 本发明公开了一种环形三轴解耦硅微陀螺仪的结构，包括上层的器件结构层、下层的玻璃衬底层以及生长于玻璃衬底层上的金属引线层，器件结构层为环形对称结构，包括驱动传递框架，内耦合环，翻滚角、俯仰角检测质量圆盘，航向角检测框架，其中，45°、135°、225°、315°方向上四个驱动传递框架通过内耦合环连接，实现等幅差分驱动和差分检测；内耦合环通过工字型解耦梁与三轴检测部分相连，实现了驱动和三轴检测之间较好的解耦功能；翻滚角和俯仰角检测通过翻滚角、俯仰角检测质量圆盘和对应的翻滚角金属电极薄膜，俯仰角金属电极薄膜构成翻滚角和俯仰角检测部分，航向角检测部分通过四组航向角检测框架进行航向角检测，能够达到较好的检测性能。
- 一种三轴MEMS陀螺仪-201911390649.8
- 王辉 - 无锡莱斯能特科技有限公司
- 2019-12-30 - 2021-12-14 - G01C19/5712
- 本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括基底，第一检测部，用于检测绕X方向的角速度；第二检测部和第三检测部，对称设置在第一检测部的两侧，分别和第一检测部相连，并被设置为能够提供方向相反的驱动力，以及能用于检测绕Y方向和绕Z方向的角速度；其中，X方向垂直于Y方向，Z方向垂直于X方向和Y方向；悬挂装置，设置在第一检测部、第二检测部和第三检测部外侧，悬挂装置和第二检测部及第三检测部相连，并和支撑装置相连，实现悬挂装置的悬挂；和支撑装置，固定设置在基底上。本发明的三轴MEMS陀螺仪结构简单、紧凑、输出信号强。
- 用于转速传感器的微机械构件及其制造方法、转速传感器-202110468068.2
- M·屈内尔;N·F·库尔曼;R·毛尔;R·舍本;S·梅尔基施;T·巴尔斯林科;W·盖格尔 - 罗伯特·博世有限公司
- 2021-04-28 - 2021-10-29 - G01C19/5712
- 本发明涉及一种用于转速传感器的微机械构件，所述微机械构件具有带有衬底表面(10)的衬底、一件式的第一转子质量(12a)和微机械构件的至少一个第一部件(22a，22b，38a，38b)，所述第一转子质量能够被置于围绕垂直于衬底表面(10)定向的第一旋转轴线(18a)的第一扭转振动运动(16a)中，其中，第一转子质量(12a)通过至少一个第一弹簧元件(26a)附接到所述至少一个第一部件(22a，22b，38a，38b)上，其中，至少一个第一弹簧元件(26a)分别延伸通过第一转子质量(12a)上的各一个侧向凹口(28a)并且附接到第一转子质量(12a)的缩回的边缘区域上。本发明还涉及一种转速传感器和一种用于转速传感器的微机械构件的制造方法。
- 微机械的转速传感器和用于制造该微机械的转速传感器的方法-201680067979.1
- R.诺伊尔;T.奥姆斯;R.莫尔;M.哈塔斯;C.赫普纳;O-A.普吕茨;B.施密特;R.舍本;F.霍伊克 - 罗伯特·博世有限公司
- 2016-11-10 - 2021-10-08 - G01C19/5712
- 本发明涉及微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140）。所述旋转振荡器（157）包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使摇臂（152）与转速传感器（100）的衬底弹性地连接；和两个支承弹簧棒（153），所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒（154）的相反侧上使摇臂（152）与旋转振荡器（140）弹性地连接。从另一视角，提供了用于制造这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
- 专利分类
