[发明专利]压电器件及其形成方法在审
| 申请号： | 202010071110.2 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112802958A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 陈志明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/04 | 分类号： | H01L41/04;H01L41/083;H01L41/22;H01L41/27 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电器件，包含衬底、金属‑绝缘体‑金属元件、氢阻挡层、钝化层、第一接触端子以及第二接触端子。金属‑绝缘体‑金属元件安置在衬底上。氢阻挡层安置在金属‑绝缘体‑金属元件上。钝化层覆盖氢阻挡层和金属‑绝缘体‑金属元件。第一接触端子电连接到金属‑绝缘体‑金属元件。第二接触端子电连接到金属‑绝缘体‑金属元件。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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